Trasferimento dell’energia da elettroni a reticolo
La frazione di energia che gli elettroni assorbono dal fascio viene trasferita al reticolo ionico che costituisce la materia
Questa prende la forma di energia termica, che induce un riscaldamento di una regione del materiale
A seguito del riscaldamento possono avvenire transizioni di fase (liquefazione, evaporazione, sublimazione) o ionizzazione